Cím: Rádiófrekvenciás mikroelektromechanikus rendszerek [Könyvfejezet kézirata]

Ön az Energiaügyi Minisztérium (DOE) OSTI.GOV egyik dokumentumához fér hozzá. Ez az oldal a DOE Tudományos és Műszaki Információs Irodájának (OSTI) terméke, és közszolgáltatásként szolgál.

Látogasson el az OSTI-hoz további információforrások felhasználására az energiatudományban és a technológiában.

Absztrakt

A rádiófrekvenciás mikroelektromechanikus rendszer (RF MEMS) eszközök olyan mikroszkálájú eszközök, amelyek kiváló teljesítményt érnek el más technológiákhoz képest, a mikrokészítéssel elérhető pontosság, pontosság, anyagok és miniatürizálás előnyeinek kihasználásával. Ehhez ezek az eszközök mechanikai és elektromos tulajdonságaik segítségével egy meghatározott RF elektromos funkciót hajtanak végre, mint például kapcsolás, átvitel vagy szűrés. Az RF MEMS az 1990-es évek eleje óta népszerű kutatási terület, és az elmúlt néhány évben a technológia eléggé kiforrott ahhoz, hogy forgalomba hozza és felhasználja a kereskedelmi piaci rendszerekben.