Hidrid gőzfázisú epitaxiareaktor a tömeges GaN növekedéshez

Szilárdtest elektronikai részleg, Ioffe Intézet, Politehnicheskaya 26, Szentpétervár, 194021, Oroszország

Intézményi bejelentkezés

Jelentkezzen be a Wiley Online Könyvtárba

Ha korábban hozzáférést kapott személyes fiókjához, kérjük, jelentkezzen be.

Vásároljon azonnali hozzáférést

Tekintse meg a PDF cikket, valamint a hozzá tartozó kiegészítéseket és ábrákat 48 órán keresztül.
A cikk nem nyomtatható.
A cikk nem tölthető le.
A cikk nem osztható újra.

A cikk, valamint a kapcsolódó kiegészítők és ábrák korlátlan megtekintése.
A cikk nem nyomtatható.
A cikk nem tölthető le.
A cikk nem osztható újra.

A cikk/fejezet PDF és a kapcsolódó kiegészítők és ábrák korlátlan megtekintése.
Cikk/fejezet kinyomtatható.
Cikk/fejezet letölthető.
A cikk/fejezet nem osztható újra.

Absztrakt

Hidrid gőzfázisú epitaxiareaktort fejlesztenek ki 50 mm átmérőjű ömlesztett GaN kristályok szaporítására. Az 1% -os növekedési ütem nem egységességét tengelyszimmetrikus függőleges gázinjektorral végezzük, stagnálási pont áramlással. Kémiailag ellenálló tűzálló anyagokat használnak kvarc helyett a reaktor forró zónájában. Nagy kapacitású külső gallium-prekurzor forrásokat fejlesztettek ki az ömlesztett GaN rétegek folyamatos növekedéséhez. A növekedési folyamat megismételhetőségének javítása érdekében egy terheléses vákuumkamrát és egy száraz in situ növekedési kamra tisztítást hajtanak végre. A reaktorral 50 mm átmérőjű szabadon álló GaN kristályokat növesztünk.

Összefüggő

Információ

További linkek

A Wiley Online Könyvtárról

Súgó és támogatás

Lehetőségek

Kapcsolatba lépni Wiley-vel

Jelentkezzen be a Wiley Online Könyvtárba

Jelszó módosítása

A jelszó sikeresen megváltozott

A jelszavad módosítva lett

Új felhasználó létrehozása

Elfelejtette a jelszavát?

Adja meg alább az e-mail címét.

Kérjük, ellenőrizze az e-mail címét a jelszó visszaállításához. Ha 10 percen belül nem kap e-mailt, akkor előfordulhat, hogy e-mail címét nem regisztráltuk, és új Wiley Online Library fiókot kell létrehoznia.

Felhasználónév kérése

Nem tud bejelentkezni? Elfelejtette a felhasználónevét?

Írja be alább az e-mail címét, és elküldjük a felhasználónevét

Ha a cím megegyezik egy meglévő fiókkal, kapni fog egy e-mailt a felhasználónév lekérésére vonatkozó utasításokkal